Bei der verfügbarkeitsanalyse kommen unterschiedliche Maße zum Einsatz. Zum Beispiel wird die Verfügbarkeit einer reparierbaren Komponente bestimmt, in dem die MTBF (Mean Time Between Failures) durch die Summe aus MTBF und MTTR geteilt wird, wenn die Komponente nach der Reparatur „so gut wie neu“ ist und keine Trends in der MTBF vorhanden sind. Die Verfügbarkeit setzt sich somit aus den Kenngrößen der Zuverlässigkeit und der Instandhaltbarkeit zusammen. Die geforderte Funktionserfüllung eines Systems wird durch betriebliche Störungen eingeschränkt. Als Störung werden allgemein Unterbrechungen des bestimmungsgemäßen Gebrauchszweckes betrachtet, welche durch instandhaltungsbedingte Unklarzeiten (präventiv und korrektiv) Berücksichtigung finden. Als Unklarzeit bzw. Unklardauer wird in der Verfügbarkeitsanalyse die Zeitspanne bezeichnet, während der die betrachtete Einheit nicht bestimmungsgemäß zu gebrauchen ist. Welche Unterbrechungen des Betriebes zur Unklarzeit in einer Verfügbarkeitsanalyse hinzugezählt werden, ist abhängig von der Aufgabenstellung der verfügbarkeitsanalyse und den jeweiligen Projekterfordernissen. Unter Berücksichtigung innerer und äußerer Einflussgrößen werden unterschiedliche Verfügbarkeitskenngrößen abgeleitet, die hierarchisch aufgebaut sind. Dabei schließt die jeweils nächst höhere Verfügbarkeitskenngröße die vorangegangene ein.
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